自由基辅助磁控溅射相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

自由基辅助磁控溅射相关论文

氢气气氛中后续退火处理对ZnO：Al薄膜光电性能的影响

利用自由基辅助磁控溅射法在载玻片衬底上制备了透明导电ZnO：Al薄膜（简称AZO薄膜）.研究了氢气气氛中后续退火处理对Al掺杂效率以及AZO......

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AZO薄膜自由基辅助磁控溅射中性杂质散射掺杂效率后退火处理 AZO films radical assisted magnetron sputteri

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