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光刻是集成电路及微纳器件制备过程中的一个重要环节。随着科学技术的日益进步,微电子、微纳光学等研究领域对光刻分辨力的要求越......
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近几年来，克服衍射极限的超透镜光刻技术得到学术界的广泛关注，超透镜在生物医学成像，光学光刻以及数据存储等领域有着巨大的应用潜力......
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