超大数值孔径相关论文
针对现代光刻中，超大数值孔径的情况下，通过简单的傅里叶衍射理论模拟掩模的传递函数的方法不够精确，必须得考虑倾斜照明带来的阴影效......
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介绍一种超大数值孔径光学系统的设计研究,其中包括设计的难点、研究思路、解决方法及实际结果.这个系统与传统的光学系统相比较,......
