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辅助离子束功率密度对透明塑料上室温磁控溅射沉积ITO薄膜结构和形貌的影响
基于双极脉冲磁控溅射复合离子束辅助沉积的新工艺,在透明塑料聚碳酸酯基片上,常温制备了透明导电的铟锡氧化物(ITO)薄膜。重点研......
期刊
铟锡氧化物薄膜
室温制备
离子束辅助磁控溅射
结构与形貌
透明塑料衬底
ITO coating(Indium tin oxide)
Room temperat
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