金刚石针尖相关论文
本文研究当原子力显微镜微加工单晶硅的金刚石针尖的磨损机制以及对微加工过程的影响规律.......
原子力显微镜(AFM)的诞生为纳米技术的迅猛发展起到了推波助澜的作用,为人们在纳米尺度上的研究物质的结构及其相互作用提供了有力......
随着科学技术的飞速发展，微型化是民用及军事研究领域总的发展趋势。如大规模集成电路的发展，要求每个电子器件的尺寸达到纳米量级；现......
以原子力显微镜(AFM)作为加工工具对单晶硅进行了基于金刚石 针尖的纳米加工试验，运用不同的方法对纳米加工区域的特性、材料在不同......
以原子力显微镜(AFM)作为加工工具,基于金刚石针尖对单晶硅进行了纳米加工实验,对纳米加工区域特性、材料在不同垂直载荷下的去除......
以原子力显微镜（ＡＦＭ）作为加工工具对单晶硅进行了基于金刚石针尖的纳米加工试验，运用不同的方法对纳米加工区域的特性、材料在不同垂直载......
本文建立了微动工作台和原子力显微镜相结合的微加工系统,在该系统上采用金刚石针尖进行微加工实验,与SPM系统本身的刻划软件刻划......
考察了用原子力显微镜对单晶硅进行微加工时金刚石针尖的磨损行为 ,对针尖的磨损率、磨损机理以及针尖磨损对微加工过程的影响进行......
