【摘 要】
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以原子力显微镜(AFM)作为加工工具对单晶硅进行了基于金刚石 针尖的纳米加工试验，运用不同的方法对纳米加工区域的特性、材料在不同垂直载荷下的去 除机理及切屑形成特征进行
【机 构】
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哈尔滨工业大学精密工程研究所 哈尔滨 150001
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以原子力显微镜(AFM)作为加工工具对单晶硅进行了基于金刚石 针尖的纳米加工试验，运用不同的方法对纳米加工区域的特性、材料在不同垂直载荷下的去 除机理及切屑形成特征进行了系统的研究和分析，提出了一种在纳米尺度下研究加工机理的 新方法。在此基础上，应用有限元法对AFM纳米加工中存在于金刚石针尖和被加工材料之间 的接触作用机制进行了计算仿真。
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