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铒膜相关论文
铒、钪膜中离子注入氦的热解析行为
采用热解析法初步研究了铒、钪膜中离子注入氦的热解析行为。研究结果表明:同种元素铒中离子注入氦的热释放峰位相同,但膜的致密性......
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氦离子注入
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氦泡
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helium ion implantation
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