闭合场非平衡磁控溅射相关论文
采用闭合场非平衡磁控溅射技术在不锈钢基体上制备了不同质量分数Mo的CrMoN复合涂层。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)......
目的研究氮化钛(TiN)镀膜对纯钛铸件表面硬度和耐磨性的影响。方法应用闭合场非平衡磁控溅射(CFUBMS)方法在纯钛铸件表面制备TiN薄膜,......
闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术制膜时镀层设计不受元素化合价及相图的限制,工艺控制简单,可以方便地设计镀层的成分和结构,且膜/基结......
本文基于产业化应用和改善类金刚石膜与基体结合力为目的,在大型工业用等离子体—离子束增强沉积系统中,获得了DLC膜和梯度复合DLC......
论文研究了采用四靶闭合场非平衡磁控溅射(CFUBMS)技术获得Cr Ti Al N化合物涂层的偏压、溅射功率和气压等各种工艺参数和条件,以及......
期刊
采用闭合场非平衡脉冲磁控溅射沉积碳氮化铬薄膜,利用EPMA、XPS、GIXRD、FESEM和HRTEM表征了薄膜的成分与结构,纳米压痕仪、Rockwe......
近年来磁控溅射技术的应用日趋广泛,在工业生产和科学研究领域发挥巨大作用。随着对具有各种新型功能的薄膜需求的增加,相应的磁控......
期刊
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叙述了表面工程的分类及各种表面工程技术的应用现状和发展趋势,指出,双层辉光等离子表面冶金技术、激光表面冶金技术、离子注入、......
CrN涂层具有良好的耐高温、耐腐蚀、耐磨损性能,是良好的高温结构材料和防护材料。单一的二元CrN涂层不能满足当代苛刻的应用环境,急......
本文针对Ti6Al4V摩擦磨损性能差,对粘着磨损和微动磨损敏感等问题,利用闭合场非平衡磁控溅射技术在Ti6Al4V基体表面制备了耐磨性能......