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阴极真空弧技术相关论文
磁过滤等离子体沉积和注入技术
利用阴极真空弧放电技术能够产生高密度的金属等离子体. 经过90度的磁过滤器,可艺除去金属等离子体中的大颗粒微粒,从而为制备高质......
期刊
磁过滤器
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表面改性
Magnetic filter
Plasma deposition
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