利用真空磁过滤弧沉积(FAD)技术制备得到了无氢的非晶碳膜.由于非晶碳膜中数量极高的四面体键(sp~3键)的存在,这种非晶碳膜也可被......

采用过滤阴极真空电弧技术以相同的工艺条件在单晶硅衬底上制备了不同厚度的四面体非晶碳薄膜.利用表面轮廓仪测试薄膜的厚度和应......

采用过滤阴极真空电弧技术制备非晶金刚石薄膜,在-190～600 ℃范围研究非晶金刚石薄膜的温度敏感性.利用液氮泵在Linkam试验台上冷却......

本文利用一种新的等离子体沉积技术－真空磁过滤弧沉积制备得到一种无氢的非晶碳膜。ＥＥＬＳ分析表明，这种非晶碳膜几乎不含有ｓ０＾２和ｓｐ杂化键，呈现出......

为了深入理解过滤阴极电弧沉积非晶金刚石薄膜的光学性质，利用光谱椭偏仪研究了薄膜光学常数随测试偏振光波长变化的谱学关系，进而分......

为了有效保护硫化锌等红外光学元件并提高其在工作波段的透过率,根据薄膜光学原理进行增透设计,从而获得膜系光学参数;采用射频磁......

在国家＜八六三＞计划资助下，中国科学院上海冶金研究所 于1995年建立了国内第一台真空磁过滤弧源沉积（FAD）装置，并 成......

采用过滤阴极真空电弧技术,通过施加不同衬底偏压制备了非晶金刚石薄膜.利用纳米压痕仪和光谱椭偏仪测试薄膜的力学性能和光学性能......