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微扑翼飞行器静电驱动机构的机电耦合特性研究
静电微驱动机构在微机械传感器、激励器中有着广泛的应用.对一种用于微型扑翼飞行器的扭转式静电微驱动机构,在建立其非线性动力学......
期刊
扭转式静电微驱动机构
机电耦合
非线性动态特性
顺序耦合场分析
Electrostatic torsion microactuator
Electromech
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