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会议论文
线宽为10nm量级氧化钛线的制备
线宽为10nm量级氧化钛线的制备
来源 :第四届全国微米/纳米技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wain155
【摘 要】
:
我们用扫描隧道显微镜(STM)在7nm厚的钛膜上加工出了线宽为10nm量级的氧化钛线,并重点讨论了氧化电压与扫描速率对氧化线宽的影响.
【作 者】
:
黄萍
沈波
蒋建飞
蔡琪玉
程子川
【机 构】
:
上海交通大学微/纳米科学技术研究院(上海)
【出 处】
:
第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
线宽
扫描隧道显微镜
氧化钛线
氧化电压
扫描速率
膜上
加工
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我们用扫描隧道显微镜(STM)在7nm厚的钛膜上加工出了线宽为10nm量级的氧化钛线,并重点讨论了氧化电压与扫描速率对氧化线宽的影响.
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