Si(111)衬底立方相AlN形成机制研究

来源 :第一届全国宽禁带半导体学术及应用技术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhwa

【摘要】

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二元氮化物根据四面体中原子的排列顺序不同,可将晶体结构分为三种:纤锌矿结构(WZ),闪锌矿结构(ZB)和岩盐矿结构.其中六方纤锌矿Ⅲ族氮化物为稳定结构,在通常生长条件下为主

【作者】

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冯玉霞杨少延魏鸿源杨学林沈波

【机构】

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北京大学物理学院,北京,100871

【出处】

：

第一届全国宽禁带半导体学术及应用技术会议

【发表日期】

：

2015年期

【关键词】

：

衬底立方相 AlN

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二元氮化物根据四面体中原子的排列顺序不同,可将晶体结构分为三种:纤锌矿结构(WZ),闪锌矿结构(ZB)和岩盐矿结构.其中六方纤锌矿Ⅲ族氮化物为稳定结构,在通常生长条件下为主要晶相.在生长Si(111)衬底AlN的过程中,出现了立方相AlN,通过研究材料生长工艺对薄膜中立方相AlN含量的影响以及引入立方相AlN后体系能量的改变,分析了决定立方相AlN形成的机制及主要因素.

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