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扩散硅压力传感器的温度补偿
【机 构】
:
沈阳仪器仪表工艺研究所
【出 处】
:
第二届全国敏感元件传感器学术会议
【发表日期】
:
1991年期
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该文主要阐述了真空微电子压力传感器敏感薄膜研制实验,着重在双面光刻,各向异性腐蚀,腐蚀自停止等几个方面做了阐述。腐蚀的薄膜厚度可控制在10-20μm,薄膜均匀、光洁且平滑。
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