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本文利用化学溶液法，在Si(100)衬底上制备了六方纯相YMnO3薄膜。实验结果显示，六方YMnO3薄膜的制备，不仅与退火温度有关，还与退火时间有很大关系，合适的退火时间有利于获得纯相六方YMnO3薄膜。适当的烘干温度有利于制备(002)择优取向的YMnO3薄膜。扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)的实验结果表明薄膜表面平整、致密、均匀，其表面粗糙度为4.88nm，具有择优取向和良好表面形貌的六方YMnO3薄膜的制备，为下一步研究其铁电性质奠定了基础。