c-BN簿膜沉积中的相转换

来源 :第三届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lionfirst
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该文结合实验结果提出一个c-BN薄膜沉积过程中相转变模型,解释了c-BN成核,即从h-BN(r-BN)向c-BN的相转变。
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