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透明导电薄膜是一种同时具备透明性和导电性的功能薄膜材料,其独特的性能使其广泛应用于液晶显示器、太阳能电池、节能玻璃等光电领域。在这类材料中,ZnO基透明导电薄膜不仅具有良好的光电性能,而且原材料丰富,价格低廉,无毒无污染,同时在氢等离子体环境中也有很好的稳定性,是ITO薄膜的理想替代物。