近年硫酸法钛白工程设计和装备选型的进步

来源 :2012年国家化工行业生产力促进中心钛白分中心会员大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tanyanlong
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  我国钛白粉生产新建装置的特点是生产规模大、工艺先进,采用新型设备、提高控制水平,这些项目的实施体现了国内工程设计能力的提升和装备制造业的进步。指出我国的钛白行业还将是以硫酸法工艺为主,必须依靠行业自身的技术进步,改变公众对硫酸法钛白行业的看法,重新获得行业发展的宽松环境,需要行业内各方,包括生产、设备制造、材料供应、工程设计与建设、上下游企业等共同努力,开创行业发展的新局面。
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介绍了双胞10叉指集电极上引出结构的SiGe HBT,其BVCBO和BVCEO分别为11V和6V,Early电压为37v。在Ic=40mA,Vce=4V的条件下,测得其截止频率fT可达22GHz,最高振荡频率可达12.8GHz(未作去嵌入)。
根据Y参数分析的特点,通过对共发射极交流小信号等效电路进行合理的简化,同时考虑到发射极串联电阻的影响,提出了一种新的SiGe HBT基极串联电阻的提取方法。采用这种方法,利用SiGe HBT交流小信号参数的器件模拟结果和实测数据,提取了包括基极串联电阻在内的小信号等效电路模型参数,并据比研究了连接基区横向宽度对基极串联电阻的影响,该方法的有效性也从中得到了验证。
使用新开发SONOS器件模拟器进行SONOS器件的电学特性模拟和评估。模拟器基于基本物理模型,详细考虑了SONOS栅介质层中的载流子隧穿、俘获、复合、发射和载流子堆积过程,并且能够计算拥有复合栅介质的SONOS器件;可以有效地评估及优化SONOS存储器的设计。模拟了采用复合的隧穿介质层和高-k阻挡介质层,来改进SONOS的电学性能。改进的SONOS器件在保持与传统SONOS器件相同保持栉陛的情况下
利用X射线对在不同负载条件下的VDMOS进行了辐射试验,观察到VDMOS不同的辐射行为,在较大的负载情况下,VDMOS阈值电压漂移发生了“回弹”(rebound),比无辐射情况下更大,表明VDMOS在大功率负载情况下发生了辐射退火效应,辐射损伤在大功率负载条件下得到了部分修复。及时退火效应导致阈值电压漂移的回弹主要因素,可以认为是VDMOS弱反型界面态电荷的退火引起,等效电荷量为-2.3×1011
报道了L波段低端短脉宽360w硅微波脉冲大功率晶体管研制结果。该器件采用微波功率管环台面结终端结构、非线性镇流电阻等新工艺技术,器件在上述频带内,脉宽10μs,占空比10%和40V工作电压下,全带内脉冲输出功率大于360w,增益大于8.5dB,效率大于50%。
采用量子模型,研究了MOS器件不同介质材料和栅结构栅泄漏电流,该模型基于Schrodinger-Poisson方程自洽全量子数值解,特别适用于高k栅介贡和多层高k栅介质纳米MOSFET,具有概念简单,运算效率高、求解稳定的特点,模拟得出栅极电流与实验结果符合。研究结果表明,采用Al2O3栅介质材料对栅电流的减少有明显的作用。为最大限度地减少MOS器件的栅电流,需要优化叠栅结构中界面层的厚度。对器件
介绍了聚酰亚胺薄膜的制备工艺,研究了薄膜的刻蚀特性,发现湿法腐蚀得到的聚酰亚胺薄膜图形受最小尺寸的限制。对于O2等离子刻蚀,改变参教得到了刻蚀速率随O2流量和功率的变化曲线;对于RIE干法刻蚀,通过两次测量得到了更加精确的刻蚀速率。测量了薄膜的应力特性、硬度、杨氏模量及化学试剂对其的腐蚀性质。聚酰亚胺薄膜在SiC MEMS加工中作为牺牲层,重点研究了退火对释放后结构应力的影响,找到了在材料允许温度
提出一种VDMOS与低压控制电路之间抗串扰的新隔离结构。通过二维器件仿真软件MEDICI验证,能够有效防止VDMOS漏极反偏造戍的衬底电流进入CMOS电路,CMOS电路中出现闩锁效应时的VDMOS漏端电压从-1V提高到-4V,已经应用于一款功率集成电路中,经过初步验证,具有一定应用价值。
利用等离子体化学气相沉积(PECVD)法沉积SiN薄膜,衬底采用多晶硅(厚度大约为330±40μm,电阻率为0.5~2.0Ωcm),采用常规制备参教条件沉积SiN薄膜,之后对样品进行不同条件的热处理.热处理采用快速热退火(RTA)的方式在氮气氛下进行退火温度为350℃-1100℃,退火温度为15s-180s.最后,通过运用准稳态光电导衰减法(QSSPCD)对样品进行测试,从而获得薄膜少于寿命.从测
研究了以Ta/TaN作为阻挡层的Cu在Nisi衬底上的接触的热学及电学稳定性。用四探针方法(FPP)、X射线衍射谱(XRM)、扫描电子显微镜(SEM)、深度俄歇电子能谱(AES)、电流-电压测试(I-V)及肖特基势垒高度拟合(SBH)等手段表征了了Cu/扩散阻挡层/NiSi/Si结构中Ta/TaN的阻挡特性。各项测试结果表明,Ta/TaN复合阻挡层是Cu在NiSi村底上的接触的扩散阻挡层的良好选择