离子注入法制备硅基发光材料及其发光机制研究

来源 :中国真空学会第五届学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：luxintian

【作者】

：

余跃辉赵俊

【机构】

：

科学院上海冶金研究所

【出处】

：

中国真空学会第五届学术会议

【发表日期】

：

1998年期

【关键词】

：

离子注入法制硅基发光材料

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