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介绍了静电驱动，电容检测的微机械振动轮式陀螺仪样机的结构，加工工艺，工作原理，驱动与检测电路以及实验结果；给出了检测电路的分辨率；得到了样机驱动轴与检测轴的频率特性。指出该陀螺精度达到10°～1°／h是可行的。
新型的微机械振动轮式陀螺仪
【摘 要】
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介绍了静电驱动，电容检测的微机械振动轮式陀螺仪样机的结构，加工工艺，工作原理，驱动与检测电路以及实验结果；给出了检测电路的分辨率；得到了样机驱动轴与检测轴的频率特性。指出该
【机 构】
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大学精密仪器与机械学系(北京)
【出 处】
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全国第八届空间及运动体控制技术学术会议
【发表日期】
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1998年10期
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