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甚高频容性耦合等离子体中驻波效应的实验研究
【机 构】
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三束材料改性教育部重点实验室,物理学院,大连理工大学
【出 处】
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第五届全国工业等离子体会议暨第五届高离化磁控多弧技术研讨会及第二届 PVD 企校合作高层论坛
【发表日期】
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2017年12期
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会议
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