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本文采用Metalorgarlic solution deposition(MOD)法在硅铂片(Pt/TiO2/SiO2/Si)上制备梯度Ba1-xSrxTiO3(BST)薄膜，研究不同退火气氛对薄膜的影响。750℃下梯度BST薄膜分别在氩氮气氛(Ar/N2)、空气气氛(Air)、干氧气氛(O2)、湿氧气氛(O2和H2O)中进行退火处理。采用XRD、SEM、AFM研究薄膜的微观结构与表面形貌。研究结果显示梯度BST薄膜为多晶取向，表面平整，界面清晰。介电系数电压非线性测试则表现出不同的气氛条件对梯度BST薄膜的介电性能的影响，在湿氧气氛下退火生长的梯度BST薄膜介电性能最好，其介电损耗为2％，介电可调可达44％。