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许多光学系统为了实现像的旋转、不同光路的叠加以及激光腔的折叠等,其光轴都是弯折的。即在光学系统中会遇到很多倾斜入射的光学元件。当光倾斜入射时,由于两个偏振状态(S偏振和P偏振)的反射率、透射率和相位移动不同,因此在反射光和透射光中会产生偏振效应。然而在许多情况下,这种偏振效应是必须消除或减少的。消偏振膜的设计一般采用四分之一膜堆优化方法,其设计结果都是膜层厚度偏厚,这样薄膜镀制时间会偏长,同时也会给工艺上带来困难。本论文在总结前人成果的基础上在膜系设计上提出了一种新的设计思想(超薄层设计思想)对膜系