在过去的40年中,深圳市作为改革开放的标杆城市,在快速发展的同时,同样面对着土地资源匮乏的问题。2018年新加坡每平方公里35亿元产出,纽约每平方公里接近80亿元产出,深圳市每平方公里仅有12亿元产出,与其有较大距离。从经济结构分析,工业在经济发展中的地位重要地位,提高产业用地利用效率,是提升单位土地产值维持高速可持续发展必然选择。本文收集2013年-2018年深圳市10个行政区的面板数据,其中包括土地、人力、资本3方面投入指标数据,产值、教育、医疗、可支配收入4方面产出指标数据,运用三阶段DEA模型对60组数据从横向对比角度进行静态分析,通过SFA回归分析排除财政、外资、产业结构3方面环境变量产生的误差,提高技术效率结果的准确性。同时,运用Malmquist生产率指数模型从纵向对比角度进行动态分析,对各区的全要素生产率进行测算。SFA回归模型提出环境变量的影响同时也对各区土地利用效率的影响因素进行了实证研究。通过上述研究,得到主要结果如下:（1）从静态视角分析,传统DEA模型低估了福田区、罗湖区和南山区等旧区的利用效率,高估了光明新区、盐田区和坪山区等新区效率。回归调整后旧区的利用效率普遍高于新区,新区虽初始效率不高,但经过6年的发展,已经接近旧区的水平。各区规模效率差距不大,纯技术效率决定了各区土地利用效率的高低。（2）从动态视角分析,传统DEA模型同样低估了旧区的全要素生产率,小幅高估了新区。回归调整后受限于规模报酬递减规律,旧区的全要素生产率仍旧低于新区,新区这6年期间全要素生产率均大于1,尤其是龙华新区每年更是以14.3%复合增长。各区规模效率和纯技术效率差距不大都接近于1,技术进步指数决定了各区土地全要素生产率的高低。（3）从SFA回归模型分析,相对于财政支出和外资利用情况这两个影响因素,产业结构对土地利用效率的影响更为显著,且为正向促进作用。外资利用情况对土地利用效率虽有促进作用,但效果不够显著。本研究的实证结果有助于全面认识深圳市各行政区近年来产业用地的利用情况,了解新旧行政区产业用地的利用效率主要受限于各产业的效率和产业结构分布,而非发展规模,从而更科学地制定和执行产业升级的政策,提高第三产业和高新技术产业在产业结构中的占比,维持深圳市持续健康发展。