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在高速光探测器的实验研究过程中，高速性能测量是很重要的环节，尤其是在片测试技术对于深入研究器件性能、缩短研发时间以及降低成本等都有着很重要的作用。
本文对具有波长选择性能的一镜斜置三镜腔型光探测器进行了分析和优化设计，并且对光探测器的性能测量进行了相应的理论和实验研究。文章在长波长一镜斜置三镜腔型光探测器结构中引入InP/空气隙DBR，并对器件的量子效率和高速性能进行了详细的分析；对一镜斜置三镜腔型光探测器的光谱响应进行了平顶陡边优化设计；提出了采用蒸镀Si/SiO2DBR的方法制作一镜斜置三镜腔型光探测器的滤波腔的途径；建立了一个光探测器频响特性测试系统；测量了采用InP/空气隙DBR的一镜斜置三镜腔型光探测器实验器件的光谱响应。