自从发现表面增强拉曼散射（SERS）对于粗糙表面的影响以来,许多研究已经开始对多样化的、有发展的SERS基底进行了探索。目前,大多数的研究集中在各种纳米结构的不同形状、尺寸、纳米粒子之间的间隙上,以便于能够达到更高的SERS检测灵敏度。对于SERS在实际中的应用,基底的性能是一个至关重要的因素。因此,如何制备出具有利用价值的基底仍然是SERS发展道路上的一个挑战。经过近几年的研究发现纳米复合材料基底的性质优良,为研究者们的研究提供了一个很有前途的发展方向。在本文中,首先利用磁控溅射技术在胶体球有序模板上制备出一种纳米“柱-帽”SERS基底,经过热处理后Ag纳米粒子嵌入到SiO₂层中形成一个冠状结构产生了高密度的热点,这个冠状结构和纳米粒子的尺寸可以通过热处理的温度进行调节,随着升高温度,SiO₂层捕获的Ag纳米粒子从2 nm长到5 nm,经热处理后的基底增加了等离子耦合导致了SERS强度增大。纳米“柱-帽”阵列热处理温度为600℃的时候展现了最粗糙的表面,出现了最强的SERS信号,与未经过热处理的基底相比高出了一个数量级。我们的研究提供了一种简单、可扩展的方法制备Ag/SiO₂多层阵列用于SERS应用中以及其它等离子技术中,像等离子体光催化。其次,以直径为200 nm的聚苯乙烯胶体球球（PS）阵列为模板衬底,结合等离子体刻蚀技术和磁控溅射技术,制备出了具有高热点密度的银纳米帽子阵列、纳米帽-星阵列和纳米环-纳米粒子阵列,能够通过控制对胶体球模板的刻蚀时间很容易的操控基底结构。纳米帽-星结构（刻蚀120 s）产生了最强的SERS信号,增强因子EF是1.87×10⁵,实验结果表明在整个样品表面SERS增强是均匀一致的,FDTD模拟证明了强的SERS信号来自于高密度的热点和增强的电磁场。这个工作为制备SERS活性基底提供了一条有前途的方法,并且具有良好的性能。最后,通过自组装技术,刻蚀技术和磁控溅射技术相结合的方法制得二氧化硅-银纳米碗结构基底,通过改变刻蚀时间对碗的直径进行调控。入射光进入这样的孔洞结构,与金属腔体发生耦合,产生局域表面等离子体共振,而且在碗壁以及碗与碗之间的间隙处均有热点生成,选择4-巯基苯甲酸（4-MBA）作为探针分子对基底的SERS性能进行了检测,得到不同增强效果的SERS光谱,证明该基底具有SERS活性,可应用于分子探测与识别技术领域。