超精密加工技术作为高科技领域中的基础技术,已经成为一个国家科学技术发展的重要支撑技术。精密和超精密机床在超精密加工技术的研究和发展过程中起着决定性的作用。目前,微量进给机构被广泛应用于超精密加工中,以实现刀具的精确微小位移,高精度的微进给机构已经成为超精密加工领域的关键技术之一。微进给机构的静、动态特性决定了系统的运动特性,所以研究微进给机构的静、动态特性具有很重要的意义。本文对一种摩擦驱动微进给系统的静、动态特性进行了研究,为大行程、高分辨率微进给系统的研究提供了理论依据。本文的研究对象是一种基于摩擦驱动原理工作的微进给系统,该系统由压电陶瓷驱动部件、滚珠丝杠和空气静压导轨三部分组成。本文通过分析和计算得到了微进给系统的转动惯量、驱动转矩、传动链刚度和等效扭转刚度,对微进给系统的静态特性进行研究。本文建立了摩擦驱动微进给系统的动力学模型和动力学方程。对摩擦驱动过程中的“粘滞—滑移”特性进行了深入研究,并建立了基于Karnopp“粘滞—滑移”模型的系统的动力学仿真系统。通过仿真分析,研究了正压力、摩擦系数、驱动信号参数、转动惯量等因素对系统动态性能的影响,得出了各个影响因素对系统动态性能影响的规律,给出了各个参数合理的取值范围。进行了位移输出特性的实验研究,对动力学仿真的结果进行了验证,并对实验中出现的问题进行了详细的分析,为微进给系统的应用提供了依据。实验结果表明本文建立的动力学模型能够准确地描述微进给系统的动力学特性,仿真结果准确可靠,可以利用该模型指导进一步的研究。