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本论文采用放电等离子烧结（SPS）后高温热处理方法，添加MgO及Y、La、Nd、Gd、Yb稀土元素的氯氧化物作为烧结助剂制备氮化硅陶瓷，对SPS烧结及热处理工艺、YOCl/MgO配比及添加量以及稀土氯氧化物种类对氮化硅陶瓷烧结及热导率、强度等性能的影响进行了系统地研究。本论文首先研究了钇的氯氧化物添加量、SPS及热处理工艺条件对氮化硅陶瓷烧结与性能的影响，研究表明：添加YOCl烧结助剂样品在SPS烧结过程中会出现两个快速烧结收缩阶段，收缩速率峰值所对应的温度为1400°C和1550°C，分别对应着样品烧结过程中的颗粒重排和溶解-析出致密化过程。SPS样品经热处理后密度会发生显著变化，这是由于高温热处理过程中MgO会气化逸出，稀土氯氧化物一方面和SiO2发生反应，形成SiClx气体逸出。另一方面，所添加的稀土氯氧化合物也会在热处理过程中形成液相，促进氮化硅陶瓷烧结。最终导致试样密度随稀土氯氧化物添加量的增加先降低后增加。所添加的YOCl能和氮化硅粉中的杂质SiO2发生反应、除去氮化硅晶体中的氧杂质，从而显著提高氮化硅陶瓷的热导率。然而，当添加量过多后，会形成较多的氧化物或氮氧化物晶界相残留在氮化硅中，导致热导率不能进一步提高。本论文对YOCl和MgO烧结助剂总添加量为9wt%，YOCl: MgO配比在0:9至9:0之间变化的氮化硅陶瓷进行了研究，研究发现：在YOCl: MgO比值小于4:5区间可获得致密氮化硅陶瓷，抗弯强度、热导率均随着YOCl添加量的增加，随YOCl: MgO比值的降低逐渐增大；当YOCl: MgO比值大于4:5时试样相对密度下降，且抗弯强度、热导率也随着YOCl: MgO比值的增加直线下降。YOCl: MgO质量比为4:5时性能最佳，热导率和抗弯强度强度分别为90W/m·K和1063MPa。本论文还对添加不同稀土氯氧化物（ReOCl，Re=La，Nd，Gd，Yb）烧结助剂的氮化硅陶瓷进行了研究。研究表明：除了添加YbOCl烧结助剂的样品未能烧结致密，性能也较差外，添加La、Nd、Gd的试样都比较致密，抗弯强度均在1000MPa以上。这些样品的热导率随着稀土阳离子半径的减小（La→Nd→Gd）显著上升，添加Gd的试样热导率和强度最高，分别为89W/m·K和1126MPa。