基于潘式压电马达的毫米行程纳米位移台的研究

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精密定位技术作为微观领域研究的关键技术之一,其技术水平直接影响到微观领域的研究水平。微行程精密定位技术虽然发展得比较成熟,但大行程精密定位技术由于具有更大的定位行程,所以其应用范围更广,也更具有研究意义与价值。本论文旨在设计一套基于潘式压电马达的二维毫米级行程纳米位移台装置,能够实现毫米级行程的纳米级精密定位。论文综合分析了微行程精密定位技术以及大行程精密定位技术的国内外研究现状,描述了潘式压电马达的步进原理,基于该原理设计了二维毫米级行程的纳米位移台的总体机械机构,基于直流放大式电压驱动方法,采用
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