【摘 要】
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目前晶体切割和加工设备中最重要的定向专用设备是X射线角分类机。X射线角分类机是以X射线为手段,依据布拉格方程,对晶体进行分析的光机电一体化精密仪器。目前国内生产的晶
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目前晶体切割和加工设备中最重要的定向专用设备是X射线角分类机。X射线角分类机是以X射线为手段,依据布拉格方程,对晶体进行分析的光机电一体化精密仪器。目前国内生产的晶体定向仪主要为手动和半自动两种。为了实现晶片定向的自动上料、自动测量、自动分选下料功能,三者结合下达到无人看管全自动工作的目的,同时提高测量精度和工作效率。本文在自动上料和下料子系统已由前人设计完成情况下,设计了全自动X射线角分类机的高速核心测控系统,该核心测控系统能对晶体进行高速测量并向上位计算机实时传输数字滤波后的测量结果,同时也能对自动上料和自动分选下料子系统的进行运动逻辑控制。本文主要设计的核心测控系统包括X射线接收与高速数据采集子系统(基于型号为THS 10064的高速ADC芯片),高速数据处理与逻辑控制子系统(基于型号为TMS320LF2812的DSP芯片)以及高速通讯子系统(基于型号为CY7C68013的EZ-USBFX2芯片)这三大部分。最终完成了整个系统的硬件和软件开发设计及调试。此外根据本系统的具体情况,在高速测控系统数据采集后期的处理过程中,程序中采用离散FIR算法(有限脉冲响应)对数据进行滤波处理,提高了整个系统的测量精度。现场测试证明,全自动X射线角分类机实现了全自动的各种基本功能,达到了各项技术指标,完全能够满足国内生产需求。
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