随着航空航天事业的蓬勃发展,对高精密零部件的需求日益增加,而微细电解加工因其加工精度高、电极无损耗等优势,受到越来越多的关注。但微细电解加工若想达到微米级精度,需要高精度的机床和复杂的控制算法,极大增加了加工成本和设计难度;静电驱动由于能实现微进给、往返运动,已被应用于电火花加工领域。因此结合两者优点,利用静电驱动来解决电解加工中的间隙控制难题,通过实验确定合理的加工参数范围,并解决静电驱动电解加工中出现的驱动能力不足的问题。在总结静电驱动与微细电解加工的研究现状后,针对平面电极片电流密度低、难以加工的缺点,通过对比实验得出合理的电流密度与正确的加工步骤。实验表明电压20 V、硝酸钠溶液5 g/L、电极片面积9～20 mm2、间隙电压在5 V、进给速率1.4 μm精度能达到50 μm。针对静电驱动电解加工中参数繁多的难题,利用逻辑回归对参数做重要度排序,确定合理的加工参数,避免参数调节的困难,并进行二维字符加工实验验证参数的可行性。针对静电驱动加工中间隙测量困难、位置反馈难以获取的问题,本论文利用电压来反映间隙大小。在收集电压数据上,因为电压有效信号少,对电压数据进行插值重排;在模型选择上,根据电压与间隙呈非线性关系,利用支持向量机作为预测模型,通过距超平面的距离来反映间隙大小。针对静电驱动驱动能力不足的问题,通过对纯静电驱动进给、微宏进给相结合、智能往返进给方案的比较,得出往返回退方案能够实现长深径比加工。