微器件在航空航天、微机电系统和微型医疗等重点领域的广泛应用对微成形技术提出了更高的要求。由于传统微成形技术加工金属箔板时存在加工难度大,冲头与模具对中难等问题,难以满足金属箔板在微尺度的成形需求。本文提出一种新型的激光空化冲击微成形技术,利用激光诱导空化产生的等离子体冲击波、空泡溃灭冲击波及微射流冲击力作用于金属箔板,实现金属箔板微突起特征的可控成形。基于实验和数值模拟,研究了激光空化冲击微成形过程和机理,主要的研究内容与结果如下:（1）理论分析了激光诱导空泡产生机制,并基于空泡脉动理论探究了液体参量对空泡脉动特性的影响,为研究近壁面空泡在不同水域温度下的脉动特性提供理论依据;基于近壁面空泡在脉动过程中产生的冲击波和微射流两种力学效应,阐述了材料的塑性变形机理,为激光空化冲击微成形的实验和数值模拟研究奠定理论基础。（2）搭建激光空化冲击微成形实验平台,采用高速摄影和声学测量技术研究了近壁面空泡脉动规律和冲击波压力特性。结果表明,在低的水域温度下空泡周围出现离散的微小气泡,但随着水域温度升高,该现象逐渐消失;增大水域温度和激光能量均会使空泡的最大等效半径增大,脉动周期延长,并且泡能在水域温度为313 K时出现峰值;增大激光能量和减小离焦量均可提升等离子体冲击波和空泡溃灭冲击波强度;等离子体冲击波强度与水域温度无关。（3）实验研究了激光能量、离焦量和水域温度对成形件的表面形貌、成形深度、截面厚度减薄率、截面硬度和表面粗糙度的影响。结果表明,成形深度与激光能量呈正相关,但与离焦量呈负相关,且随着水域温度的升高先增大后减小;成形件圆角处的截面厚度减薄和硬度提升最为明显,并且截面厚度减薄率随着激光能量的增大而增大;铝箔保护层能够降低成形件的表面粗糙度,从而提高成形件的表面质量。上述的研究表明,通过改变激光能量、离焦量和水域温度可以实现可控的金属箔板激光空化冲击微成形。（4）采用ANSYS-Fluent软件对近壁面空泡在脉动过程中的压力场、温度场和速度场分布进行数值模拟。结果表明,模拟获得的空泡等效半径演变趋势和实验结果一致;空泡的外部呈现负压,使空泡周围产生离散微气泡;空泡外部的流场温度始终保持不变;增大激光能量和减小离焦量均有助于增强微射流冲击力,且微射流冲击力在水域温度为313 K时达到最大;微射流冲击材料表面的持续时间随着水域温度的升高而增大。