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本硕士论文对基于非硅基微加工技术的光开关及可调光衰减器的设计制作与分析进行了研究。在阅读国内外相关文献的基础上，利用实验室现有条件，制作了一系列器件，并对器件进行了性能测试与分析。 本论文主要分为三大部分。第一部分主要研究了现有光开关及可调光衰减器的实现技术，对各种技术的优点及缺点进行了分析，并对光开关及可调光衰减器技术现状进行了概述。 第二部分主要提出了一种设计独特的基于精密电火花加工技术的微驱动单元，并在此单元的基础上，设计制作了一种1×4微机械光开关，一种1×8微机械光开关，并对开关的结构及工作原理做了叙述。论文首先测试并分析了光纤准直器的平移失配特性以及角度失配特性，并作出了拟合函数。然后通过有限元分析软件ANSYS对微驱动单元进行了电磁场分析，并对光开关的开关时间进行了计算，计算结果与实际测量结果相近，此开关实测速度小于2ms。本器件封装尺寸达到并小于某些国外产品，其中1×8光开关封装尺寸仅为50×25×10mm~3。 第三部分主要提出了关于可调光衰减器的设计制作与分析，首先设计制作了一种弹性力回复式可调光衰减器，此器件利用微反射单元的变型，以电磁线圈驱动微反射镜。论文利用有限元分析软件ANSYS对该器件进行工作曲线分析及动态响应分析，分析结果与实测结果接近，实测结果表明，驱动电压0～8V，工作范围0～35dB，动态响应时间为2ms，插入损耗小于0.8dB，回波损耗小于-50.5dB。 由于弹性力回复式可调光衰减器的主要缺点在于器件工作重复性不够理想，弹簧随时间变化而产生老化现象，使得器件工作曲线发生变化，且此器件工作曲线线性度不好。于是本文提出改进方案，设计并制作了一种利用永磁体磁力作为回复力的可调光衰减器，器件封装尺寸进一步降低，具有较好的工作线性度及稳定度，且结构紧凑，工作稳定，工艺简单，成本低廉，易于批量生产。器件插入损耗小于0.8dB，回波损耗-50.7dB，工作范围0～40dB。这两种可调光衰减器都具有偏振不敏感，工作波段宽的特点，适应于WDM全光网络的要求。 论文最后针对现有数字可调光衰减器均由步进电机驱动，体积庞大，造价高昂且速度缓慢的缺点，利用微反射单元设计了一种高速数字式可调光衰减器。提浙江大学硕士论文出了一种高速数字可调光衰减器的设计方案，此方案实现了驱动电压数字化，衰减器的工作状态不再取决于电压高低，工作稳定。且此器件不采用步进电机驱动，造价低廉，结构紧凑，无需步进工作，速度大大提高