石墨烯薄膜具有优异的力学、电学、热学以及光学等特性,将其应用于电声换能领域是近几年研究的热点,代表成果有石墨烯静电式发声器件和石墨烯热致发声器件,分别在扬声器应用领域及超声换能器应用领域有广阔的应用前景。发声器件的结构参数对其发声性能具有极其重要的影响,为了获得更理想的发声性能,有必要掌握结构参数对器件发声性能的影响规律并依此进行结构参数优化设计,然而现有研究并未全面揭示石墨烯结构参数对其发声性能的影响规律。对此,本论文分别对石墨烯静电式和热致发声器件开展理论、工艺与实验研究,得到了石墨烯结构参数对器件发声性能的影响规律,为器件结构优化设计提供了依据。论文的主要研究内容包括:1、石墨烯发声器件理论分析与仿真在考虑石墨烯结构参数的基础上,构建了石墨烯静电式发声器件声压模型,基于该声压模型和现有热致发声器件声压模型,分别对不同厚度、尺寸、应力等结构参数下的器件发声性能进行了仿真分析和对比,得到了石墨烯结构参数对其发声性能的影响规律,为结构优化设计奠定了理论依据。2、石墨烯发声器件设计与制作设计并制作了一系列不同结构参数的石墨烯静电式发声器件和热致发声器件,着重对制作过程中悬浮石墨烯转移工艺进行了探索和尝试,对直接捞取法、粘贴转移法和硅基底辅助转移法的转移效果进行了对比分析,总结出硅基底辅助转移法具有较高转移效率和成功率的结论。3、石墨烯发声器件性能测试与对比分析搭建了声学测试平台,对不同结构参数的石墨烯静电式和热致发声器件进行了性能测试和对比分析。验证了石墨烯静电式发声器件声压模型的有效性,证实了与理论分析相一致的影响规律;对热致发声器件证实了其厚度对声压的影响规律,还得出了悬浮式结构发声声压优于背板式结构的结论。