随着微机电系统（Micro-Electro-Mechanical-Sy stem，MEMS）技术的发展，微流控芯片技术在集成化、自动化、便携化和高效化等方面展现出了巨大潜力，已成为当前研究热点和世界前沿科技之一。对微升级的液滴进行生成、输运、分离、混合等操控是微流控各应用功能的前提和基础，目前最常用的微液滴操控方法之一是介电润湿法操控。基于介电润湿法的微流控芯片技术在变焦微透镜、蛋白质分析、DNA连接、细胞操纵培养、生物医疗检测等领域表现出巨大优势，近年来关于它的研究与应用领域一直在不断地扩张与发展。　　针对目前基于介电润湿微流控芯片的工作电压较大以及微液滴操控灵活性差的特点，本文设计了一种基于新型疏水薄膜的微流控芯片，该芯片创新地使用硅烷化试剂制备微流控芯片的疏水薄膜，不仅降低了操控微液滴所需的工作电压，而且微流控芯片的制作工艺流程与IC兼容。　　论文首先考察了不同材料作为介质层的介电润湿现象，对比不同介质层的介电润湿效果。通过评价介质层材料的介电润湿的可逆变化程度以及电压极性选择最适宜的介质层。　　其次考察了使用硅片、载玻片作为微流控芯片的基底。设计了微液滴的驱动电极掩膜版，通过氧化、光刻、溅射、剥离等技术在各种基底上制作微流控芯片。　　最后，建立实验测试平台，研究微液滴在不同疏水层、不同脉冲电压、不同介质中等条件下的驱动情况，通过实验证明了成功使用新型疏水薄膜实现基于介电润湿的微液滴操控。