Ti-Al为导电阻挡层的硅基铁电电容器集成研究

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【摘要】

：

应用磁控溅射法和溶胶-凝胶法，以非晶Ti-Al薄膜为导电阻挡层在硅衬底上制备了Pt/La0.5Sr0.5CoO3/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3/La0.5Sr0.5CoO3/Ti-Al/Si （Pt/LSCO/PZT/LSCO/Ti-Al/Si）铁电电容器异质结，应用铁电测试仪研究了其性能。结果显示：电容器在5V外加驱动电压下测得其具有较高的剩余极化强度（32.4μC/cm2）和较低的矫顽电压

【作者】

：

刘卓佳

【机构】

：

河北大学

【发表日期】

：

2012年05期

【关键词】

：

铁电电容器磁控溅射法溶剂-凝胶法导电阻挡层 Pb过量

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