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采用激光束相干合成技术来获得高功率、高质量激光已经成为激光技术领域的研究热点之一,提高激光波前性能是提高激光光束质量的重要手段,因此对于激光束波前检测的研究受到了高度重视。本文首先叙述了采用哈特曼-夏克波前传感器对激光波前进行测量的原理,以及使用直接法测量两路相干光相位差的原理;其次,详细阐述了大功率激光波前测量系统的技术方案及其具体工作过程,并给出了测量系统结构示意图;最后,对影响测量系统精度的各种关键技术做了说明,仔细分析了引起测量误差的各种因素,并进行精度估算及计算机模拟测量相位误差直方图分布。总之,采用哈特曼波前分析仪与直接法测量相位差相结合,可以解决大功率激光相干合成中的波前测量问题,并能够满足测量精度,与此同时,该测量系统还能够实现向更大功率及波长的扩展。