毫米波功率模块（MMPM）是将固态驱动放大模块（SSA）、行波管放大器（TWT）和直流电源集成在一起的“超级”功率模块，在电子战系统中具有广泛的应用。它充分利用了固态器件低噪声、高增益和电真空器件大功率、高效率的特点，能够很好地满足新一代大功率装备的要求。增益均衡器用于解决行波管放大器的增益不平坦问题，较好的均衡效果是SSA为TWT提供合适驱动功率的前提，也是MMPM得到良好整体性能的保证。均衡精度、功率容量和端口反射是均衡器的三个重要指标，同时满足这些指标要求是均衡器设计的难点。本论文着重于增益均衡器的研制：在均衡精度问题上，本论文用阶跃阻抗谐振单元（SIR）构造了陷波单元，通过等效电路和微波网络理论得到了其陷波带宽、主陷波频率、寄生陷波频率及衰减量的控制方法；实验完成了平行耦合实现的窄带衰减补偿，分支谐振单元实现的中带宽衰减补偿，以及倒扣式薄膜电阻实现的宽带衰减补偿。在功率容量问题上，本论文采用根据能量分布情况，安排电阻尺寸来减小表面电流密度的办法，改善了均衡器的可承受功率。在端口反射性能上，本论文研究了简化的均衡器模型，推导了匹配条件，研究了平衡式结构中电桥对均衡曲线的影响，完成了平衡式均衡器的研制。除此之外，本论文还基于LTCC技术，将基片集成波导（SIW）谐振单元埋置于LTCC夹层中，探索了新的均衡器实现形式。最后，成功研制了毫米波固态驱动模块，测试达到了项目指标要求，验证了均衡器的实用性。