聚四氟乙烯(PTFE)具有优异的自润滑、低摩擦、化学稳定性和热稳定性等的物理和化学性质而倍受人们的关注，但利用磁控溅射技术，以其为靶材研制高附加值的多功能面料研究极少。 本文采用磁控溅射技术，以聚四氟乙烯为靶材，在PET基底上沉积制备氟碳膜防水透湿织物。对影响性能的工艺条件(放电功率、真空度、处理时间)及机理进行了有益探索。 利用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)研究了成膜机理以及CF膜的表面形貌，观察了不同功率、压力和时间下对氟碳膜表面形貌的影响，系统研究了氟碳膜表面结构随功率和压力的变化规律，发现功率提高使得氟碳膜颗粒分布均匀，结合更加紧密，而提高压力，氟碳膜的颗粒更加密集，并且溅射条件不同，粒子的形态、粒子间构成的介观结构也不相同。随着时间的增加，成膜颗粒先连成岛，然后勾联成膜，没发现单分子层生成。 利用红外光谱(FTIR)首次表征了PET基底上溅射CF高分子膜的本体结构与以前CF-PET复合膜的红外表征基本相附。利用光电子能谱(XPS)，研究了功率和时间与CF膜结构及各组分比例的关系及变化规律，计算了F／C比，发现CF膜交联结构占很大比例。X-ray衍射仪对溅射沉积膜的结构进行了研究结果表明CF膜是无定型的。 首次利用紫外可见光光谱(UV—Vis)系统对CF膜的光学性能进行了研究，发现特定条件下得到的CF膜对紫外可见光有良好的吸收。