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随着现代制造技术向高精度方向发展,高精度大范围位移测量传感器面临广泛需求。本文研究基于双光栅干涉的位移传感器,该传感器拥有量程大、精度高等优点,具有实用意义。本文分析了双光栅干涉位移传感器的测量原理,通过ZEMAX软件对此测量原理进行了软件仿真,同时,基于角谱理论推导得到了双光栅干涉干涉场条纹的光强分布函数。仿真和推导结果验证了传感器测量原理可行性。针对双光栅干涉位移传感器的测量特点与需求,基于软件仿真与理论推导结果,完成了传感器光学系统与机械系统的设计和建构。设计了干涉条纹