基于PrAlNiCu金属玻璃薄膜的相变光刻机理研究

来源 :华中科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:DirtySnow
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
光刻工艺,作为半导体制造业中最重要的工艺之一,由于物理极限的临近和越来越高的要求,正在面临着前所未有的挑战。因此,作为极具潜力的新型光刻技术之一的相变光刻正在受到越来越多的关注和研究。相变光刻是一种无掩膜版的激光直写光刻技术,利用激光直写致热,在相变材料光刻胶上选择性曝光致其局部晶化,再利用在刻蚀液中非晶态与晶态的两相刻蚀速率差来完成纳米图案的制备。本文利用金属玻璃PrAlNiCu作为相变光刻胶研究其相变光刻特性,从Pr AlNiCu金属玻璃薄膜的制备工艺、曝光时的温度分布情况、连续与脉冲激光的曝光特性、湿法刻蚀特性等方面进行了系统的研究。本文首先利用磁控溅射方法和退火工艺对非晶态和晶态的Pr AlNiCu金属玻璃薄膜进行了制备,并进行了物理特性的表征及分析,证明了薄膜的非晶、晶化程度;利用ANSYS对Pr AlNiCu薄膜表面及内部进行了曝光时的温度分布仿真模拟,在理论上证明了激光致热晶化的作用,与MgCuY薄膜的温度分布情况进行了比较分析,结果表明PrAlNiCu薄膜能利用更小的脉冲宽度获得更高的光刻分辨率,突出了PrAlNiCu金属玻璃薄膜作为相变光刻胶的优势;利用课题组搭建的相变光刻平台对PrAlNiCu薄膜进行了连续、脉冲曝光测试,在实验上证明了激光致热晶化的可行性,依据结果探讨了晶化尺寸与激光功率、脉冲宽度之间的关系;通过实验比较选择了质量分数为0.5%的硝酸水溶液作为本实验的刻蚀液,并通过对非晶态、晶态Pr AlNiCu薄膜的刻蚀速率测试实验得出了5:1的刻蚀选择比,基于台阶仪和原子力显微镜对曝光、刻蚀前后的形貌测试结果,证明了PrAlNiCu金属玻璃薄膜优异的光刻表现。
其他文献
为了满足自动测试系统中对不同时钟信号的需求,本课题对低噪声频率源关键技术进行了分析,并给出了一种低相位噪声时钟信号的产生方法。在此基础上,设计了一个多路输出的低噪
<正>我是一名儿童剧演员,几十年来演过的角色有一百多个,其中第一次主演苏联儿童剧《表》给我留下十分美好而又难忘的印象。我出生在上海一个普通的工人家庭,祖籍是山东蓬莱
会议
氮化镓作为第三代半导体具有非常优秀的材料特性,特别是在电力电子领域,氮化镓功率器件在国内外已经得到了广泛的关注和研究。针对目前氮化镓功率器件耐压能力与理论极限相差
今年暑假,我有幸拜读了著名教育专家孙云晓的著作——《教育的秘诀是真爱》一书,读完全书我受益匪浅。书中提出了真爱的核心概念。所谓真爱,就是把孩子当作真正的人,尊重其人
光器件是光通信系统的基础和核心,是推动光纤通信技术发展的关键器件。光子集成回路(Photonic Integrated Circuits,PIC)是指将若干光器件集成在同一衬底上,构成一个整体,器
目的:观察大剂量赤芍治疗淤胆型肝炎疗效。方法:将入选病例随机分为2组,其中治疗组25例采用门冬氨酸钾镁联合中药赤芍,对照组20例采用门冬氨酸钾镁,两组病人基础治疗均采用香丹注
《一个人的战争》是林白具有代表性的一部作品,从语言的角度看,可以认为小说的修辞成功是其中的一个重要原因。在语言世界里,它的题目在多重矛盾的交错中达到了和谐统一。它的描
纳米复合材料由于其特殊的化学和物理性质,已经得到了人们广泛的关注。随着纳米复合材料的迅速发展,纳米复合材料在电化学领域的研究与应用引起了人们极大的兴趣。纳米金属粒子
研究半导体材料Ge和GaAs的弹性性质和动力学性质具有重要的科学意义和实际价值。本论文以线性与非线性弹性理论为基础,结合第一性原理的密度泛函理论,采用广义梯度近似和局域
采用SEM、XRD、ICP、DSC等方法对锂离子电池(以三元材料为正极材料)在循环过程中容量的衰减机理进行了研究。结果表明,电池容量衰减主要是由于:(1)正极极片粉末的粉化,增大了