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巨型激光装置的下装类LRU模块具有种类多、尺寸大、重量大、洁净度要求高等特点,且下装类LRU模块的装校空间狭小、可视范围小,如何实现下装类LRU模块的精密装校已经成为了世界技术难题。根据我国某巨型激光装置建设项目中的下装类LRU模块的装校任务,设计一个具有六自由度调整功能的精密装校平台,该平台由一个3-PSR/PSS三自由度冗余并联机构和一个4-PRP三自由度冗余并联机构串联而成。本文主要内容如下:通过对巨型激光装置下装类LRU模块装校流程的机构需求分析,提出了由3-PSR/PSS三自由度冗余并联机构(水平调整单元)和4-PRP平面三自由度冗余并联机构(平面调整单元)串联而成的精密装校平台,并对该装校平台进行了详细的结构介绍,最后基于螺旋理论分别计算两个功能单元的自由度。采用解析法得到水平调整单元的位置逆解模型,采用牛顿迭代法得到水平调整单元的位置正解模型;对于平面调整单元而言,采用解析法得到其位置正/逆解模型。最后,分别使用MATLAB软件和ADAMS软件对两个功能单元的位置、速度、加速度进行仿真,并将仿真结果进行对比,验证了机构运动学模型的正确性。采用矩阵微分法分别建立了水平调整单元和平面调整单元的误差分析数学模型,通过对各个误差源的单项误差分析,分别找到了影响两个功能单元末端位姿误差的主要误差源以及受影响最大的运动分量,为之后机构在实际加工制造时的精度分配提供了参考依据。采用基于最小二乘法的机构参数辨识法辨识出两个功能单元的结构参数误差,并设计试验步骤验证了该识别方法的正确性。根据识别得到的机构参数误差,采用关节空间补偿法对两个功能单元进行误差补偿,将补偿前后的误差曲线进行对比,验证了该补偿方法的有效性。基于水平调整单元的上下铰点位置误差和连接杆杆长误差以及平面调整单元的上滑块位置误差和转动轴承位置误差,采用蒙特卡洛法分别建立两个功能单元的运动可靠度求解模型,共求解出六个运动分量的运动可靠度值。利用MATLAB软件计算在不同位姿下的机构可靠度,结果证明精密装校平台的两个功能单元均有着非常高的运动可靠度。精密装校平台可靠性分析结果与误差分析结果相互印证,对机构在加工制造、装配时的精度分配具有指导意义。