La0.5Sr0.5CoO3/Pb（Zr0.4Ti0.6）O3/La0.5Sr0.5CoO3铁电电容器的结构和性能研究

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mc76759

【摘要】

：

采用磁控溅射法和脉冲激光沉积法,在SrTiO3（001）衬底上制备了La0.5Sr0.5CoO3（70 nm）/Pb（Zr0.4Ti0.6）O3（70 nm）/La0.5Sr0.5CoO3（70 nm）（LSCO/PZT/LSCO）铁电电容器异质结。X射线衍射结果表

【作者】

：

陈江恩刘保亭孙杰郭延岭马蕾娄建忠彭英才

【机构】

：

河北大学物理科学与技术学院,河北大学电子信息工程学院

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2010年2期

【关键词】

：

铁电电容器 PZT 外延薄膜导电机制 ferroelectric capacitor PZT epitaxial film conduction mechan

【基金项目】

：

国家自然科学基金（No.60876055）, 河北省自然科学基金项目（E2008000620 E2009000207）, 教育部科学技术研究重点项目（No.207013）, 河北省应用基础研究计划重点基础研究项目（No.08965124D）

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采用磁控溅射法和脉冲激光沉积法,在SrTiO3（001）衬底上制备了La0.5Sr0.5CoO3（70 nm）/Pb（Zr0.4Ti0.6）O3（70 nm）/La0.5Sr0.5CoO3（70 nm）（LSCO/PZT/LSCO）铁电电容器异质结。X射线衍射结果表明：LSCO和PZT薄膜均为外延结构。在5 V的外加电压下,LSCO/PZT/LSCO电容器具有较低的矫顽电压（0.49 V）,较高的剩余极化强度（41.7μC/cm^2）和较低的漏电流密度（1.97×10^-5A/cm^2）,LSC

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