【摘 要】
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用溶胶-凝胶技术在Pt／Ti／SiO2／Si上制备了PZT薄膜，并采用剥离技术与热处理的方法解决了Pt电极的图形化，在结晶热处理前，利用PZT腐蚀液对PZT进行图形化腐蚀．分别用SEM，XRD，EDX对电极和P
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用溶胶-凝胶技术在Pt／Ti／SiO2／Si上制备了PZT薄膜，并采用剥离技术与热处理的方法解决了Pt电极的图形化，在结晶热处理前，利用PZT腐蚀液对PZT进行图形化腐蚀．分别用SEM，XRD，EDX对电极和PZT薄膜的相貌、相结构以及化学组分进行了分析．结果表明：所制备的PZT薄膜具有完全的钙钛矿型结构；这种图形化的工艺方法大大改善了电极和PZT的图形化条件，在不影响电极和PZT性能的同时，提高了电极和PZT的图形质量；底电极和PZT的图形化过程，避免了强酸长时间的腐蚀，大大提高了PZT薄膜的制备与ME
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