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采用磁控溅射设备在玻璃衬底上溅射ZAO/metal/ZAO(ZMZ)结构的多层膜.以Ag作为多层膜结构中的金属膜,测定了在不同Ag膜厚度下,多层膜系的透光率和方电阻,并根据膜系光学原理,对金属层两端的ZAO薄膜的厚度进行了优化设计,改善了多层膜系在可见光区内的光学特性.同时研究了不同衬底温度对多层膜系透光率计导电性能的影响.最终获得方电阻6.5Ω/□,最高透光率达86.14%左右的透明导电薄膜.