论文部分内容阅读
本文主要讨论微机电系统中的常用材料和加工技术。具体分析了Ｓｉ、ＧａＡｓ、ＳｉＣ、金刚石和石英等材料的性能及其在微机电系统中的应用，并论述了材料的各向同性和各向异性刻蚀加工技术以及材料间的健合工艺。
微机电系统中的材料和加工
【摘 要】
：
本文主要讨论微机电系统中的常用材料和加工技术。具体分析了Ｓｉ、ＧａＡｓ、ＳｉＣ、金刚石和石英等材料的性能及其在微机电系统中的应用，并论述了材料的各向同性和各向异性刻蚀加工技术以及材
【机 构】
：
上海杉达大学技术教育中心,上海交通大学信息存储研究中心
【出 处】
：
上海有色金属
【发表日期】
：
2000年3期
其他文献
本文首先从经济、社会和学科角度分析工程全过程财务与质量风险监控机制构建的必要性，进而从工程全过程主要环节的实施主体角度，构了财务与质量风险预警体系和监控体系，探讨了工
利用金相、X射线衍射、扫描电镜及电化学方法,研究了Cu-Cr合金在3.5%NaCl溶液中的腐蚀行为.结果表明:Cu-Cr合金在3.5%NaCl溶液中的腐蚀产物主要是CuO、Cu2O和铬的氧化物.溶液
目的：观察抗抑郁治疗对冠心病冠状动脉介入治疗（PCI）术后合并抑郁症患者12周后的疗效。方法：对66例确诊为冠心病并行PCI术后合并有抑郁症患者随机分为两组：治疗组（34例）和对照组（32例
目的：探讨先天性肥厚性幽门狭窄（CHPS）临床特点。方法：对河北省儿童医院自2003年至2009年收治的102例先天性肥厚性幽门狭窄患儿回顾性分析。结果：102例患儿经幽门环状肌切开术后治
本文就铜系合金引线框架材料的生产，发展和国产化进程作一论述。
多取代二氢呋喃和呋喃的合成成为近几十年来的研究热点,但是这些合成方法通常需要当量的氧化剂或者苛刻的反应条件（较高的反应温度等）。所以,一种更加有效、绿色的合成二氢呋喃
为了克服传统SPM金属探针的易变形、易磨损、使用寿命短等缺点,利用自主开发的电化学腐蚀控制电路,采用电化学腐蚀法制备了碳纤维探针,并研究了制备工艺条件对碳纤维探针形貌
本文系统地了铜－铝复合板的轧制复合工艺以及不同中可获得最佳昨合强度的工艺条件。同时，研究了轧制复合时的组元变形规律及其影响因素。
简介材料研究和应用的原则和趋势。指出，特殊性能水泥、“超级钢”、形状记忆材料，生物材料、高阻尼材料、纳米材料和薄膜材料将是下世纪材料发展的热点。