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基于多场耦合的旋转圆盘电极法研究酸性镀铜
基于多场耦合的旋转圆盘电极法研究酸性镀铜
来源 :电镀与涂饰 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hcjw248
【摘 要】
:
采用多物理场耦合方法建立了旋转圆盘电极(RDE)电镀酸铜的模型,分析了电解池内不同RDE转速下的流场分布与扩散层分布特征,探讨了镀铜过程中RDE的转速及尺寸对电极表面电流密度
【作 者】
:
冀林仙
聂合贤
苏世栋
陈苑明
何为
【机 构】
:
运城学院,电子科技大学
【出 处】
:
电镀与涂饰
【发表日期】
:
2017年9期
【关键词】
:
酸性镀铜
旋转圆盘电极
多物理场耦合
电流密度分布
厚度均匀性
数值模拟
【基金项目】
:
运城学院院级项目(CY-2016005,YQ-2016016)
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采用多物理场耦合方法建立了旋转圆盘电极(RDE)电镀酸铜的模型,分析了电解池内不同RDE转速下的流场分布与扩散层分布特征,探讨了镀铜过程中RDE的转速及尺寸对电极表面电流密度与镀层厚度分布的影响,为电镀件表面电流密度分布和镀层厚度均匀性的研究提供理论指导。
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