脉冲偏压电弧离子镀CrN薄膜的表面形貌和性能研究

来源 :西南大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Helilujah
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采用脉冲偏压电弧离子镀技术沉积了CrN薄膜,并考察了在不同偏压下薄膜的表面形貌、相结构、显微硬度和耐磨性.随着偏压的增加,CrN薄膜表面颗粒逐渐变少,表面粗糙度降低,结晶度增大,偏压为-100V的CrN薄膜具有致密的表面结构,较高的硬度,最佳的抗磨性能.
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