【摘 要】
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采用脉冲偏压电弧离子镀技术沉积了CrN薄膜,并考察了在不同偏压下薄膜的表面形貌、相结构、显微硬度和耐磨性.随着偏压的增加,CrN薄膜表面颗粒逐渐变少,表面粗糙度降低,结晶度增大
【基金项目】
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重庆市自然科学基金资助项目(2006BB4050),西南大学科技基金资助项目(SWNUF2005001,SWNUB2005001)
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采用脉冲偏压电弧离子镀技术沉积了CrN薄膜,并考察了在不同偏压下薄膜的表面形貌、相结构、显微硬度和耐磨性.随着偏压的增加,CrN薄膜表面颗粒逐渐变少,表面粗糙度降低,结晶度增大,偏压为-100V的CrN薄膜具有致密的表面结构,较高的硬度,最佳的抗磨性能.
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