Si(100)衬底上取向生长La0.8Sr0.2MnO3(110)薄膜

来源 :聊城大学学报（自然科学版） | 被引量 : 0次 | 上传用户：superdog22

【摘要】

：

利用对向靶磁控溅射方法在Φ60 mm Si(100)衬底上得到了择优取向生长的La0.8Sr0.2MnO3(110)薄膜.当沉积温度为500℃时,在40 nm缓冲层SrMnO3上,La0.8Sr0.2MnO3薄膜沿(110)取向

【作者】

：

梁宝龙张丽赵昆

【机构】

：

聊城大学,物理科学与信息工程学院,山东,聊城,252059聊城大学,山东,聊城,252059;

【出处】

：

聊城大学学报（自然科学版）

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

薄膜缓冲层取向生长

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利用对向靶磁控溅射方法在Φ60 mm Si(100)衬底上得到了择优取向生长的La0.8Sr0.2MnO3(110)薄膜.当沉积温度为500℃时,在40 nm缓冲层SrMnO3上,La0.8Sr0.2MnO3薄膜沿(110)取向生长.提高沉积温度到750℃时,厚度为12 nm的SrMnO3缓冲层就可以实现La0.8Sr0.2MnO3薄膜的(110)取向择优生长.

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