含卤素源物质的金刚石薄膜淀积

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含卤素源物质的金刚石薄膜淀积曹传宝(复旦大学)彭定坤,孟广耀(中国科学技术大学)关键词:金刚石,微波等离子体,化学汽相淀积,四氯化碳。0引言金刚石具有非常特殊的性质,它的硬度和弹性模量是已知材料中最高的,高导热性和高绝缘性兼备,有很高的电子/空穴迁移...
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