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含卤素源物质的金刚石薄膜淀积
含卤素源物质的金刚石薄膜淀积
来源 :应用科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zjie16
【摘 要】
:
含卤素源物质的金刚石薄膜淀积曹传宝(复旦大学)彭定坤,孟广耀(中国科学技术大学)关键词:金刚石,微波等离子体,化学汽相淀积,四氯化碳。0引言金刚石具有非常特殊的性质,它的硬度和弹性模
【作 者】
:
曹传宝
彭定坤
孟广耀
【机 构】
:
复旦大学,中国科学技术大学
【出 处】
:
应用科学学报
【发表日期】
:
1995年4期
【关键词】
:
金刚石
化学汽相淀积
四氯化碳
薄膜
diamond
microwave plasma
CVD
CCl_4.
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含卤素源物质的金刚石薄膜淀积曹传宝(复旦大学)彭定坤,孟广耀(中国科学技术大学)关键词:金刚石,微波等离子体,化学汽相淀积,四氯化碳。0引言金刚石具有非常特殊的性质,它的硬度和弹性模量是已知材料中最高的,高导热性和高绝缘性兼备,有很高的电子/空穴迁移...
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